Màng cứng là lớp màng mỏng có độ dày nhỏ hơn kích cỡ μm. Các màng này có nhiều tính chất nổi bật như độ cứng, độ bền nén, độ bền nhiệt, độ trơ hóa học cao... Các hợp chất nitride,carbide... Thuộc nhóm vật liệu cứng này. Các màng cứng điển hình là:̀ TiN,CrN,TiCN.
